Nanotechnik befindet sich in CD-Playern, in Sensoren für den Bereich Fahrzeugtechnik, in der Wafer-Technologie oder in Dialysegeräten für die Medizin. Neben den konventionellen Verfahren der Silizium-Technik werden durch neue Herstellungsverfahren Mikrobauteile kleiner als 10 nm erzeugt. Diese ultragenaue Produktion erzeugt eine erhöhte Nachfrage nach neuen Methoden und Größen für das Messen der Gestalt. Herkömmliche Tastmethoden können kaum kleine Strukturen mit der erforderlichen Genauigkeit messen. Eine Lösung besteht in der Anwendung von Messverfahren, bei denen das Prüfen auf anderen Effekten wie z. B. Beugung oder atomarer Wechselwirkung basiert. Solche Messverfahren sind aktuell in der Entwicklung, einige werden bereits verwendet. Der Beitrag gibt einen Überblick über die Messverfahren, die fähig sind, sich den Anforderungen der Mikro- und Nanosystemtechnik zu stellen.
Anforderungen an die zukünftige Mikro- und Nanomesstechnik - Herausforderungen und Vorgehensweisen
tm - Technisches Messen ; 67 , 7-8 ; 334-342
2000-01-01
9 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Deutsch
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