50 fs pulse laser micromachining of sapphire has been demonstrated. The smooth and clean features and high ablation rate have proven the suitability of this technique for micro-scale machining of this technologically important material.


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    Titel :

    Femtosecond laser micromachining of sapphire


    Beteiligte:
    Kim, K.-S. (Autor:in) / Jones, D. (Autor:in) / Bente, E. (Autor:in) / Girkin, J.M. (Autor:in) / Dawson, M.D. (Autor:in)


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2001


    Format / Umfang :

    170475 byte





    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Elektronische Ressource


    Sprache :

    Englisch



    ThM3 Femtosecond Laser Micromachining of Sapphire

    IEEE | British Library Conference Proceedings | 2001


    Femtosecond Micromachining

    Momma, C. / Nolte, S. / Tunnermann, A. | IEEE | 1998


    Femtosecond laser micromachining of submicron features

    El-Bandrawy, M. / Gupta, M.C. | IEEE | 2003


    Precise Micromachining with Femtosecond Laser Pulses

    Momma, C. / Nolte, S. / Chichkov, B. N. et al. | British Library Online Contents | 1997


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    Aoki, N. / Sugioka, K. / Obata, K. et al. | IEEE | 2001