We investigated the effect of linewidth fluctuations and sidewall roughness on wavelength spectra in scatterometry using rigorous coupled wave analysis. For both cases the influence of mean values and fluctuations can be separated.


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    Titel :

    Effect of linewidth fluctuations and sidewall roughness in scatterometry


    Beteiligte:
    Schuster, T. (Autor:in) / Kenvien, N. (Autor:in) / Osten, W. (Autor:in) / Reinig, P. (Autor:in) / Moert, M. (Autor:in) / Hingst, T. (Autor:in) / Mantz, U. (Autor:in)


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2005


    Format / Umfang :

    280338 byte




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Elektronische Ressource


    Sprache :

    Englisch



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