The present invention relates to a wafer transfer apparatus with an improved structure for minimizing movement of a wafer during movement, which comprises: a first frame in which a wafer is stored; a second frame located in a lower portion of the first frame and facing the first frame; a support frame extending downward in the longitudinal direction to connect the first frame to the second frame; and at least one rotating member having a rotating unit located between the ground and the second frame and rotating around a rotating shaft and a first angle restricting unit located on one side of the rotating unit and disposed to have a first angle with a surface perpendicular to the rotating shaft.
본 발명은 이동시 웨이퍼의 움직임을 최소화할 수 있도록 개선된 구조를 갖는 웨이퍼 이송장치를 위하여, 웨이퍼가 수납되는 제1 프레임; 상기 제1 프레임의 하부에 위치하며 상기 제1 프레임과 대향되도록 배치되는, 제2 프레임; 상기 제1 프레임과 상기 제2 프레임을 연결하도록 길이 방향을 따라 하부로 연장되는, 지지 프레임; 및 지면과 상기 제2 프레임 사이에 위치하며 회전축을 중심으로 회전하는 회전부 및 상기 회전부의 일 측에 위치하며 상기 회전축과 수직인 면과 제1 각도를 갖도록 배치되는 제1 각도제한부를 포함하는, 적어도 하나 이상의 회전 부재를 구비하는, 웨이퍼 이송장치를 제공한다.
Apparatus for carrying wafer
웨이퍼 이송장치
15.06.2018
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
Silicon rod carrying equipment for semiconductor wafer production
Europäisches Patentamt | 2023
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