본 발명은 이동시 웨이퍼의 움직임을 최소화할 수 있도록 개선된 구조를 갖는 웨이퍼 이송장치를 위하여, 웨이퍼가 수납되는 제1 프레임; 상기 제1 프레임의 하부에 위치하며 상기 제1 프레임과 대향되도록 배치되는, 제2 프레임; 상기 제1 프레임과 상기 제2 프레임을 연결하도록 길이 방향을 따라 하부로 연장되는, 지지 프레임; 및 지면과 상기 제2 프레임 사이에 위치하며 회전축을 중심으로 회전하는 회전부 및 상기 회전부의 일 측에 위치하며 상기 회전축과 수직인 면과 제1 각도를 갖도록 배치되는 제1 각도제한부를 포함하는, 적어도 하나 이상의 회전 부재를 구비하는, 웨이퍼 이송장치를 제공한다.
Apparatus for carrying wafer
웨이퍼 이송장치
2018-09-28
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
Silicon rod carrying equipment for semiconductor wafer production
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