Disclosed is a pump lifting apparatus for a semiconductor manufacturing facility, which comprises: a main bracket member installed outside a chamber of a semiconductor manufacturing facility; an electric winch unit coupled to the main bracket member, and selectively winding a lifting wire for towing and lifting a weight inside the chamber; a switch unit fixed to a lower portion of the main bracket member to allow the lifting wire to pass therethrough, and having a switch for selectively stopping driving of the electric winch unit; and a switch driving unit rotatably coupled to the switch unit, and rotated by selective contact of a lifting hook coupled to an end of the lifting wire to selectively operate the switch. Therefore, damage to the electric winch unit due to the lifting hook can be prevented since the lifting hook makes contact with the switch driving unit to stop the operation of the electric winch unit before colliding with the electric winch unit when a vacuum pump which is a weight inside the chamber is lifted.
본 발명은, 반도체 제조 설비용 펌프 인양장치를 개시한다. 개시된 반도체 제조 설비용 펌프 인양장치는, 반도체 제조 설비의 챔버 외측에 설치되는 메인 브래킷 부재과, 메인 브래킷 부재에 결합되며 챔버 내부의 중량물을 견인하여 인양할 수 있는 인양 와이어를 선택적으로 권취하는 전동 윈치부와, 인양 와이어가 통과하도록 메인 브래킷 부재의 하부에 고정되며 전동 윈치부의 구동을 선택적으로 정지하기 위한 스위치를 구비하는 스위치 유닛과, 스위치 유닛에 회전 가능하게 결합되어 인양 와이어의 끝단에 결합되는 인양훅이 선택적으로 접촉함에 따라 회전하면서 스위치를 선택적으로 작동시키는 스위치 구동부를 구비하는 것을 특징으로 한다. 따라서 본 발명은 챔버 내부의 중량물인 진공 펌프를 인양할 때 인양훅이 전동 윈치부에 충돌하기 스위치 구동부에 접촉되면서 전동 윈치부의 구동을 정지시키므로, 인양훅에 의한 전동 윈치부의 파손을 방지할 수 있다.
Lifting device for semiconductor manufacturing equipment
반도체 제조 설비용 펌프 인양장치
16.11.2020
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch