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    Titel :

    A one chip, polysilicon, surface micromachined pressure sensor with integrated CMOS signal conditioning electronics


    Weitere Titelangaben:

    Ein ein-chip, Polysilizium, oberflaechen-mikrobearbeiteter Drucksensor mit integrierter CMOS Elektronik zur Signalaufbereitung.


    Beteiligte:

    Erscheinungsdatum :

    1996


    Format / Umfang :

    6 pages


    Anmerkungen:

    SAE-Paper;960757;1996;Sensors and Actuators 1996;SAE Spec.Publ.; SP-1133


    Medientyp :

    Sonstige


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch



    A One Chip, Polysilicon, Surface Micromachined Pressure Sensor with Integrated CMOS Signal Conditioning Electronics

    Mattes, M. F. / Seefeldt, J. D. / Society of Automotive Engineers | British Library Conference Proceedings | 1996



    Actuation of polysilicon surface-micromachined mirrors [2687-07]

    Tien, N. C. / Kiang, M.-H. / Daneman, M. J. et al. | British Library Conference Proceedings | 1996


    A CMOS integrated surface micromachined angular rate sensor for automotive applications

    Sparks, D. R. / Zarabadi, S. R. / Johnson, J. D. et al. | British Library Conference Proceedings | 1997


    A CMOS integrated surface micromachined angular rate sensor for automotive applications

    Sparks,D.R. / Zaranadi,S.R. / Johnson,J.D. et al. | Kraftfahrwesen | 1997