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    Titel :

    A One Chip, Polysilicon, Surface Micromachined Pressure Sensor with Integrated CMOS Signal Conditioning Electronics



    Kongress:

    Session; International congress, Sensors and actuators 1996 ; 1996 ; Detroit; MI



    Erscheinungsdatum :

    1996-01-01


    Format / Umfang :

    6 pages




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Schlagwörter :




    Actuation of polysilicon surface-micromachined mirrors [2687-07]

    Tien, N. C. / Kiang, M.-H. / Daneman, M. J. et al. | British Library Conference Proceedings | 1996


    A CMOS integrated surface micromachined angular rate sensor for automotive applications

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    A CMOS integrated surface micromachined angular rate sensor for automotive applications

    Sparks,D.R. / Zaranadi,S.R. / Johnson,J.D. et al. | Kraftfahrwesen | 1997