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    Titel :

    Application of atomic force microscopy in resist structure evaluation


    Weitere Titelangaben:

    Anwendung der AFM auf die Bewertung der Struktur von Widerstaenden.


    Beteiligte:
    Ruland,T. (Autor:in) / Stefanov,Y. (Autor:in) / Rispal,L. (Autor:in) / Schwalke,U. (Autor:in) / Tech.Univ.Darmstadt,DE

    Erscheinungsdatum :

    2004


    Format / Umfang :

    6 pages


    Anmerkungen:

    VDI-Ber.; 2004;8th Int.Symposium on Measurement and Quality Control in Production;VDI-Berichte;Nr.;1860


    Medientyp :

    Sonstige


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch



    Atomic Force Microscopy Studies of Fibers

    IEEE; Lasers and Electro-Optics Society | British Library Conference Proceedings | 1994


    Optical Microscopy, Atomic Force Microscopy (AFM) and SNOM

    Birmelin, M. | British Library Online Contents | 1998


    Atomic force microscopy in zero-g

    Friedfeld, R. / Parker, S. / Rodgers, G. et al. | IEEE | 2003



    Atomic and Scanning Force Microscopy in Space

    Hartmann, E. / European Space Agency | British Library Conference Proceedings | 1996