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    Titel :

    Single crystal silicon low-g acceleration sensor


    Weitere Titelangaben:

    Einkristall-Beschleunigungssensor fuer die Messung kleiner Beschleunigungen.


    Beteiligte:

    Erscheinungsdatum :

    2002


    Format / Umfang :

    5 pages


    Anmerkungen:

    SAE-Paper;2002-01-1080;2002;Sensors and Actuators 2002;SAE Spec.Publ.; SP-1659


    Medientyp :

    Sonstige


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch



    Single Crystal Silicon Low-g Acceleration Sensor

    Johnson, Jack D. / Christenson, John C. / Zarabadi, Seyed R. et al. | SAE Technical Papers | 2002


    2002-01-1080. Single Crystal Silicon Low-g Acceleration Sensor

    Johnson, J. D. / Zarabadi, S. R. / Christenson, J. C. et al. | British Library Conference Proceedings | 2002


    The study of silicon bulk micromachined angular acceleration sensor

    Mizuno,J. / Nottmeyer,K. / Amemori,M. et al. | Kraftfahrwesen | 2000


    The study of silicon bulk micromachined angular acceleration sensor

    Mizuno, J. / Nottmeyer, K. / Amemori, M. et al. | Tema Archiv | 2000