Modeling chemical vapor deposition and etching processes
33rd Aerospace Sciences Meeting and Exhibit ; 1995 ; Reno , NV , U.S.A.
01.01.1995
Aufsatz (Konferenz)
Elektronische Ressource
Englisch
Automatic chemical vapor deposition
NTRS | 1981
|Chemical-vapor-deposition reactor
NTRS | 1979
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