Modeling chemical vapor deposition and etching processes
33rd Aerospace Sciences Meeting and Exhibit ; 1995 ; Reno , NV , U.S.A.
01.01.1995
Aufsatz (Konferenz)
Elektronische Ressource
Englisch
Automatic chemical vapor deposition
| NTRS | 1981
Chemical-vapor-deposition reactor
| NTRS | 1979