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    Titel :

    Micromachined Aluminum Nitride Microphone Technology Development


    Beteiligte:

    Kongress:

    50th AIAA Aerospace Sciences Meeting including the New Horizons Forum and Aerospace Exposition



    Erscheinungsdatum :

    2012-01-01



    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Elektronische Ressource


    Sprache :

    Englisch



    Micromachined Aluminum Nitride Microphone Technology Development

    Williams, M. / Griffin, B. / Reagan, T. et al. | British Library Conference Proceedings | 2012


    Development of a micromachined piezoelectric microphone for aeroacoustics applications

    Horowitz, Stephen / Nishida, Toshikazu / Cattafesta, Louis et al. | Tema Archiv | 2007


    Design and Characterization of a Micromachined Piezoelectric Microphone

    Horowitz, Stephen / Nishida, Toshikazu / Cattafesta, Louis et al. | AIAA | 2005


    Micromachined Bolometer-Arrays with Silicon-Nitride Membranes

    Kreysa, E. / Beeman, J. W. / Haller, E. E. | British Library Online Contents | 1996


    Surface micromachined accelerometer:a technology update

    Payne,R.S. / Dinsmore,K.A. / Analog Devices Semiconductor,US | Kraftfahrwesen | 1991