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    Titel :

    A MEMS packaged capacitive pressure sensor employing 3C-SiC with operating temperature of 500 °C


    Beteiligte:
    Marsi, N. (Autor:in) / Majlis, B. Y. (Autor:in) / Hamzah, A. A. (Autor:in) / Mohd-Yasin, F. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.01.2015


    Format / Umfang :

    12 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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