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    Titel :

    Modeling and simulation of metal organic halide vapor phase epitaxy (MOHVPE) growth chamber


    Beteiligte:

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 21 , 1 ; 309-318


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2015


    Format / Umfang :

    10 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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