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    Titel :

    Ferroelectric thin film fabrication by direct UV-lithography


    Beteiligte:
    Benkler, M. (Autor:in) / Paul, F. (Autor:in) / Schott, J. (Autor:in) / Hanemann, T. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 20 , 10-11 ; 1859-1867


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2014


    Format / Umfang :

    9 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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