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    Titel :

    Nanoimprint lithography and micro-embossing in LiGA technology: similarities and differences


    Beteiligte:
    Schift, H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 20 , 10-11 ; 1773-1781


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2014


    Format / Umfang :

    9 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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