Zugriff

    Zugriff über TIB

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

    Bestellung bei Subito €


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    Next-Generation Lithography: Schott shooting to be a player in nanoimprint lithography


    Erschienen in:

    LASER FOCUS WORLD ; 49 , 1 ; 23


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2013


    Format / Umfang :

    23 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    621.366



    Nanoimprint lithography fabricates subwavelength optics

    Wang, J. / Kostal, H. | British Library Online Contents | 2005


    Template Fabrication on Soft Ultravialet Nanoimprint Lithography

    Qin, G. / Ding, Y. / Liu, H. | British Library Online Contents | 2008


    Recent progress in low temperature nanoimprint lithography

    Sun, H. | British Library Online Contents | 2015


    Forum debates next- generation lithography

    British Library Online Contents | 1998


    Application of nanoimprint lithography in nanoscale GaAs MSM photodetectors

    Schablitsky, S.J. / Zhaoning Yu, / Chou, S.Y. | IEEE | 1999