Zugriff

    Zugriff über TIB

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

    Bestellung bei Subito €


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    Silicon 45° micromirrors fabricated by etching in alkaline solutions with organic additives


    Beteiligte:
    Rola, K. P. (Autor:in) / Ptasiński, K. (Autor:in) / Zakrzewski, A. (Autor:in) / Zubel, I. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 20 , 2 ; 221-226


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2014


    Format / Umfang :

    6 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Fabrication of micromirrors with pyramidal shape using anisotropic etching of silicon with KOH

    Moktadir, Z. / Prakash, G.V. / Koukharenko, E. et al. | IEEE | 2004


    Analysis of adsorption of alcohol additives in the process of silicon etching in alkaline solutions [5124-15]

    Zubel, I. / Kramkowska, M. / International Society of Optical Engineering et al. | British Library Conference Proceedings | 2003




    Replicated x-ray micromirrors [3766-42]

    Pina, L. / Inneman, A. / Hudec, R. et al. | British Library Conference Proceedings | 1999