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    Titel :

    A novel high tuning ratio MEMS cantilever variable capacitor


    Beteiligte:
    Mahmoodnia, H. (Autor:in) / Ganji, B. A. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 19 , 12 ; 1913-1918


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2013


    Format / Umfang :

    6 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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