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    Titel :

    Silicon isotropic and anisotropic etching for MEMS applications


    Beteiligte:
    Negi, S. (Autor:in) / Bhandari, R. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 19 , 2 ; 203-210


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2013


    Format / Umfang :

    8 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83






    Fabrication of micromirrors with pyramidal shape using anisotropic etching of silicon with KOH

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