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    Titel :

    Silver (Ag) as a novel masking material in glass etching for microfluidics applications


    Beteiligte:
    Lee, H. W. (Autor:in) / Bien, D. C. (Autor:in) / Badaruddin, S. A. (Autor:in) / Teh, A. S. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 19 , 2 ; 253-259


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2013


    Format / Umfang :

    7 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Masking Technique for Ion-Beam Sputter Etching

    Banks, B. A. / Rutledge, S. K. | NTRS | 1986


    Thermal Etching of Silver

    R. Shuttleworth / R. King / B. Chalmers | NTIS | 1946


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    Berthier, Jean / Theberge, Ashleigh B. / Berthier, Erwin | TIBKAT | 2019


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