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    Titel :

    Role of Temperature and Gas-Chemistry in Micro-Masking of InP by ICP Etching



    Kongress:

    18th:; ANNUAL MEETING, Lasers and Electro-Optics Society; IEEE LEOS ; 2005 ; Sydney, Australia



    Erscheinungsdatum :

    01.01.2005


    Format / Umfang :

    2 pages


    Anmerkungen:

    IEEE cat no: 05CH37693




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Schlagwörter :


    Role of temperature and gas-chemistry in micro-masking of InP by ICP etching

    Karouta, F. / Docter, B. / Geluk, E.J. et al. | IEEE | 2005


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    Lee, H. W. / Bien, D. C. / Badaruddin, S. A. et al. | British Library Online Contents | 2013


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