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    Titel :

    A method for determining ultrathin DLC film thickness by spectroscopic ellipsometry


    Beteiligte:
    Zhao, J. M. (Autor:in) / Yang, P. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 18 , 9/10 ; 1455-1461


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2012


    Format / Umfang :

    7 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83





    Compound material investigation by spectroscopic ellipsometry [2113-12]

    Litovchenko, V. G. / Frolov, S. I. / Klyui, N. I. et al. | British Library Conference Proceedings | 1994


    Spectroscopic Ellipsometry as a Sensitive Monitor of Materials Contamination

    Hale, J. S. / Hilfiker, J. N. / Spady, B. et al. | British Library Conference Proceedings | 1995