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    Titel :

    A review of fabrication processes for vertical comb drives


    Beteiligte:
    Gallagher, E. (Autor:in) / Moussa, W. (Autor:in) / McDermott, M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 18 , 4 ; 381-397


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2012


    Format / Umfang :

    17 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83




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