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    Titel :

    Design and fabrication of a resonant scanning micromirror suspended by V shaped beams with vertical electrostatic comb drives


    Beteiligte:
    Li, X. Y. (Autor:in) / Jin, Q. (Autor:in) / Qiao, D. Y. (Autor:in) / Kang, B. P. (Autor:in) / Yan, B. (Autor:in) / Liu, Y. B. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 18 , 3 ; 295-302


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2012


    Format / Umfang :

    8 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    A review of fabrication processes for vertical comb drives

    Gallagher, E. / Moussa, W. / McDermott, M. | British Library Online Contents | 2012


    MOEMS Electrostatic Scanning Micromirrors Design and Fabrication

    Patterson, P. R. / Hah, D. / Su, G. J. et al. | British Library Conference Proceedings | 2002


    Modeling of an electrostatic torsional micromirror for laser projection system

    Marchetti, E. / Volpi, E. / Battini, F. et al. | British Library Online Contents | 2010


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    Li, J. d. / Zhang, P. / Wu, Y. h. et al. | British Library Online Contents | 2011


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