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    Titel :

    Design, fabrication and testing of a high performance silicon piezoresistive Z-axis accelerometer with proof mass-edge-aligned-flexures


    Beteiligte:
    Sankar, A. R. (Autor:in) / Jency, J. G. (Autor:in) / Das, S. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.01.2012


    Format / Umfang :

    15 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Cross-axis sensitivity reduction of a silicon MEMS piezoresistive accelerometer

    Ravi Sankar, A. / Das, S. / Lahiri, S. K. | British Library Online Contents | 2009


    Piezoresistive silicon accelerometer for automotive applications

    Seidel, H. / Fritsch, U. / Gottinger, R. et al. | Tema Archiv | 1993


    A piezoresistive silicon accelerometer with monolithically integrated CMOS-circuitry

    Seidel, H. / Fritsch, U. / Gottinger, R. et al. | Tema Archiv | 1995



    Rotational flexures deliver high precision

    O Brien, B. | British Library Online Contents | 2005