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    Titel :

    3D surface topography and reflectivity of anisotropic etched silicon micromirrors for BioMEMS


    Beteiligte:
    Mackay, R. E. (Autor:in) / Lionis, N. (Autor:in) / Le, H. R. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 17 , 12 ; 1763-1770


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2011


    Format / Umfang :

    8 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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