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    Titel :

    A water-tight packaging of MEMS electrostatic actuators for biomedical applications


    Beteiligte:
    Erismis, M. A. (Autor:in) / Pereira Neves, H. (Autor:in) / De Moor, P. (Autor:in) / Puers, R. (Autor:in) / Van Hoof, C. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 16 , 12 ; 2109-2113


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2010


    Format / Umfang :

    5 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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