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    Titel :

    Fabrication of compliant high aspect ratio silicon microelectrode arrays using micro-wire electrical discharge machining


    Beteiligte:
    Rakwal, D. (Autor:in) / Heamawatanachai, S. (Autor:in) / Tathireddy, P. (Autor:in) / Solzbacher, F. (Autor:in) / Bamberg, E. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 15 , 5 ; 789-797


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2009


    Format / Umfang :

    9 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83