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    Titel :

    Proton beam writing: a platform technology for nanowire production


    Beteiligte:
    Kan, J. A. (Autor:in) / Zhang, F. (Autor:in) / Chiam, S. Y. (Autor:in) / Osipowicz, T. (Autor:in) / Bettiol, A. A. (Autor:in) / Watt, F. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 14 , 9-11 ; 1343-1348


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2008


    Format / Umfang :

    6 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Proton beam writing a platform technology for high quality three-dimensional metal mold fabrication for nanofluidic applications

    Kan, J. A. / Shao, P. G. / Wang, Y. H. et al. | British Library Online Contents | 2011


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