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    Titel :

    PLASMA DENSITY MEASUREMENTS OF CONFINED CAPACITIVELY COUPLED PLASMA BY MICROWAVE INTERFEROMETER AND ION ENERGY DISTRIBUTION FUNCTION METHODS


    Beteiligte:
    Helhel, S. (Autor:in) / Ellingboe, A. R. (Autor:in) / Cerezci, O. (Autor:in) / Gaman, C. (Autor:in)


    Erscheinungsdatum :

    2006-01-01


    Format / Umfang :

    19 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    621.3612



    ANALYSIS OF DUAL FREQUENCY CONFINED CAPACITIVELY COUPLED PLASMA AT LOW POWER

    Helhel, S. | British Library Online Contents | 2006




    Characterization of Capacitively Coupled Radio-Frequency Argon Plasma by Electrical Circuit Simulation

    Bora, B. / Bhuyan, H. / Favre, M. et al. | British Library Conference Proceedings | 2012


    Low-power radio-frequency capacitively coupled plasma in air: an alternative spectral source?

    Anghel, S.-D. / Simon, A. / Frentiu, T. et al. | British Library Conference Proceedings | 2000