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    Titel :

    A new removable resist for high aspect ratio applications


    Beteiligte:
    Schirmer, M. (Autor:in) / Perseke, D. (Autor:in) / Zena, E. (Autor:in) / Schondelmaier, D. (Autor:in) / Rudolph, I. (Autor:in) / Loechel, B. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 13 , 3-4 ; 335-338


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2007


    Format / Umfang :

    4 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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