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    Titel :

    Fabrication and characterization of DRIE-micromachined electrostatic microactuators for hard disk drives


    Beteiligte:
    Chen, B. (Autor:in) / Miao, J. (Autor:in) / Tay, F. E. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.01.2007


    Format / Umfang :

    9 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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