Zugriff

    Zugriff über TIB

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

    Bestellung bei Subito €


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    Surface Force in Electrostatic Type Microsensors and Microactuators


    Beteiligte:
    Tsuchitani, S. (Autor:in) / Suzuki, S. (Autor:in) / Shimada, S. (Autor:in) / Miki, M. (Autor:in)


    Erscheinungsdatum :

    01.01.1994


    Format / Umfang :

    143 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Unbekannt


    Klassifikation :

    DDC:    629.8



    Microactuators, microsensors and micromechanisms : MAMM 2024

    Conference on Microactuators, Microsensors and Micromechanisms | TIBKAT | 2025


    Integrated electromagnetic microactuators with a large driving force

    Pan, C. T. / Yang, H. / Chou, M. C. et al. | British Library Online Contents | 2005


    Shape memory microactuators

    Buttgenbach, S. / Butefisch, S. / Leester-Schadel, M. et al. | British Library Online Contents | 2001


    Fabrication and characterization of DRIE-micromachined electrostatic microactuators for hard disk drives

    Chen, B. / Miao, J. / Tay, F. E. | British Library Online Contents | 2007