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    Titel :

    A capacitance and optical method for the static and dynamic characterization of micro electro mechanical systems (MEMS) devices


    Beteiligte:
    Ferraris, E. (Autor:in) / Fassi, I. (Autor:in) / Masi, B. (Autor:in) / Rosing, R. (Autor:in) / Richardson, A. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 12 , 10-11 ; 1053-1061


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2006


    Format / Umfang :

    9 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83






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