Zugriff

    Zugriff über TIB

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

    Bestellung bei Subito €


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    Metallic micro displacement capacitive sensor fabricated by laser micromachining technology


    Beteiligte:
    Lai, Y. (Autor:in) / Bordatchev, E. V. (Autor:in) / Nikumb, S. K. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 12 , 8 ; 778-785


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2006


    Format / Umfang :

    8 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83




    Hollow metallic microneedles fabricated by combining bulk silicon micromachining and UV–LIGA technology

    Yan, X. X. / Liu, J. Q. / Shen, X. C. et al. | British Library Online Contents | 2012


    Vertical Three-Dimensional Micro-Fresnel Lenses Fabricated by Micromachining Technique

    Lin, L. Y. / Lee, S. S. / Pister, K. S. J. et al. | British Library Conference Proceedings | 1994


    Optical waveguides fabricated in Cr:LiSAF by femtosecond laser micromachining

    Biasetti, Demian A. / Di Liscia, Emiliano J. / Torchia, Gustavo A. | British Library Online Contents | 2017


    Optical waveguides fabricated in Cr:LiSAF by femtosecond laser micromachining

    Biasetti, Demian A. / Di Liscia, Emiliano J. / Torchia, Gustavo A. | British Library Online Contents | 2017