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    Titel :

    MOEMS Pyramidal micromirrors assist atom-chip development


    Erschienen in:

    LASER FOCUS WORLD ; 42 , 4 ; 28


    Erscheinungsdatum :

    2006-01-01


    Format / Umfang :

    28 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    621.366



    MOEMS Electrostatic Scanning Micromirrors Design and Fabrication

    Patterson, P. R. / Hah, D. / Su, G. J. et al. | British Library Conference Proceedings | 2002


    Fabrication of micromirrors with pyramidal shape using anisotropic etching of silicon with KOH

    Moktadir, Z. / Prakash, G.V. / Koukharenko, E. et al. | IEEE | 2004


    Thermally invariant all-dielectric micromirrors

    Wei Liu, / Talghader, J.J. | IEEE | 2001


    Integrated 1/spl times/4 wavelength-selective switch with on-chip MEMS micromirrors

    Chi, C.-H. / Tsai, J. / Lee, M.-C.M. et al. | IEEE | 2005


    Micromirrors for Daylight Steering Applications

    Worapattrakul, Natalie | DataCite | 2017