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    Titel :

    Stable SOI micromachined electrostatic AC voltage reference


    Beteiligte:
    Kärkkäinen, A. (Autor:in) / Pekko, P. (Autor:in) / Dekker, J. (Autor:in) / Pesonen, N. (Autor:in) / Suhonen, M. (Autor:in) / Oja, A. (Autor:in) / Kyynäräinen, J. (Autor:in) / Seppä, H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 12 , 1-2 ; 169-172


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2005


    Format / Umfang :

    4 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83




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