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    Titel :

    Swelling of SU-8 structure in Ni mold fabrication by UV-LIGA technique


    Beteiligte:
    Yi, L. (Autor:in) / Xiaodong, W. (Autor:in) / Chong, L. (Autor:in) / Zhifeng, L. (Autor:in) / Denan, C. (Autor:in) / Dehui, Y. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 11 , 12 ; 1272-1275


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2005


    Format / Umfang :

    4 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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