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    Titel :

    A nondestructive automated defect detection system for silicon carbide wafers


    Beteiligte:
    Kubota, T. (Autor:in) / Talekar, P. (Autor:in) / Ma, X. (Autor:in) / Sudarshan, T. S. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.01.2005


    Format / Umfang :

    7 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    006.42



    Automated Texturization of Silicon Wafers

    Chitre, S. / Snyder, C. / Jones, G. et al. | NTRS | 1985


    Defect detection in patterned wafers using anisotropic kernels

    Zontak, M. / Cohen, I. | British Library Online Contents | 2010


    Automatic surface defects detection on silicon wafers

    Miron, N. / Sporea, D.G. | IEEE | 1994



    Interferometric Imaging Technique for Nondestructive Evaluation of Optoelectronic Devices and Wafers

    IEEE; Lasers and Electro-Optics Society | British Library Conference Proceedings | 1994