Zugriff

    Zugriff über TIB

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

    Bestellung bei Subito €


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    Micro gas bearings fabricated by deep X-ray lithography


    Beteiligte:
    Kim, D. (Autor:in) / Lee, S. (Autor:in) / Jin, Y. (Autor:in) / Desta, Y. (Autor:in) / Bryant, M. D. (Autor:in) / Goettert, J. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.01.2004


    Format / Umfang :

    6 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Fluid filter fabricated by deep X-ray lithography for micro fluidics

    Ukita, Y. / Asano, T. / Utsumi, Y. | British Library Online Contents | 2007



    Micro fluidic control systems in deep etch optical lithography

    Pye, N. / McCormick, M. / Chowaneitz, E. G. et al. | British Library Online Contents | 1998


    A Si stencil mask for deep X-ray lithography fabricated by MEMS technology

    Mekaru, H. / Takano, T. / Ukita, Y. et al. | British Library Online Contents | 2008


    Improvement of capillary electrophoresis property for microchannels fabricated by deep X-ray lithography

    Utsumi, Y. / Ozaki, M. / Terabe, S. et al. | British Library Online Contents | 2005