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    Titel :

    A golden-template self-generating method for patterned wafer inspection


    Beteiligte:
    Xie, P. (Autor:in) / Guan, S.-U. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    2000-01-01


    Format / Umfang :

    8 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    006.42



    A Golden Block Self-Generating Scheme for Continous Patterned Wafer Inspections

    Guan, S. / Xie, P. / IEEE | British Library Conference Proceedings | 1999


    A golden-block-based self-refining scheme for repetitive patterned wafer inspections

    Guan, S. / Xie, P. / Li, H. | British Library Online Contents | 2003


    Patterned wafer inspection by high resolution spectral estimation techniques

    Khalaj, B. H. / Aghajan, H. K. / Kailath, T. | British Library Online Contents | 1994


    Golden Template Comparison: A Quantitative Study of Performance

    Schott, J.-P. / Silver, W. | British Library Online Contents | 1990