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    Titel :

    Patterned wafer inspection by high resolution spectral estimation techniques


    Beteiligte:
    Khalaj, B. H. (Autor:in) / Aghajan, H. K. (Autor:in) / Kailath, T. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.01.1994


    Format / Umfang :

    178 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Unbekannt


    Klassifikation :

    DDC:    006.42



    A golden-template self-generating method for patterned wafer inspection

    Xie, P. / Guan, S.-U. | British Library Online Contents | 2000



    High-resolution spectral estimation algorithms in OFDM radar

    Braun, Martin / Jondral, Friedrich K. | Tema Archiv | 2011


    A Golden Block Self-Generating Scheme for Continous Patterned Wafer Inspections

    Guan, S. / Xie, P. / IEEE | British Library Conference Proceedings | 1999


    Laser-based inspection improves wafer manufacture

    Zankowsky, D. | British Library Online Contents | 1998