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    Titel :

    High aspect ratio micromachining (HARM) technologies for microinertial devices


    Beteiligte:
    McNie, M. (Autor:in) / King, D. (Autor:in) / Vizard, C. (Autor:in) / Holmes, A. (Autor:in) / Lee, K. W. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.01.2000


    Format / Umfang :

    5 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Manufacturing of microstructures with high aspect ratio by micromachining

    Gietzelt, T. / Eichhorn, L. / Schubert, K. | British Library Online Contents | 2008


    High aspect ratio micromachining by synchrotron radiation direct photo-etching

    Katoh, T. / Zhang, Y. | British Library Online Contents | 1998


    Replication technologies for HARM devices: status and perspectives

    Piotter, V. / Bauer, W. / Hanemann, T. et al. | British Library Online Contents | 2008


    High aspect ratio wings

    Bruner, G. | Engineering Index Backfile | 1950


    High-aspect-ratio wings

    Peterson, John B., Jr. | NTRS | 1988