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    Titel :

    Micro-Opto-Mechanical Vibration Sensor Integrated on Silicon


    Beteiligte:
    Ollier, E. (Autor:in) / Philippe, P. (Autor:in) / Chabrol, C. (Autor:in) / Mottier, P. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.01.1999


    Format / Umfang :

    4 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    621.3692



    Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems

    Wu, M. C. / American Society of Civil Engineers | British Library Conference Proceedings | 2000


    All-silicon waveguides and bulk-etched alignment structures on (110) silicon for integrated micro-opto-mechanical systems [2686-02]

    Smith, S. W. / Mehregany, M. / Merat, F. L. et al. | British Library Conference Proceedings | 1996


    Integrated silicon-glass opto-chemical sensor for lab-on-chip applications

    De Stefano, L. / Malecki, K. / Moretti, L. et al. | IEEE | 2004


    Lightweight single crystal silicon opto-mechanical structures

    Paquin, Roger A. / McCarter, Douglas R. | SPIE | 2009


    Integrated Modeling of Advanced Opto-Mechanical Systems

    Briggs, Hugh / Phillips, Charles / Orzewalla, Matthew | AIAA | 2006