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    Titel :

    All-silicon waveguides and bulk-etched alignment structures on (110) silicon for integrated micro-opto-mechanical systems [2686-02]


    Beteiligte:

    Kongress:

    Conference, Integrated optics and microstructures III ; 1996 ; San Jose; CA



    Erscheinungsdatum :

    01.01.1996


    Format / Umfang :

    12 pages




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    Optical microspectrometer in SiON slab waveguides [2686-12]

    Sander, S. / Duecker, M.-O. / Blume, O. et al. | British Library Conference Proceedings | 1996


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    Ollier, E. / Philippe, P. / Chabrol, C. et al. | British Library Online Contents | 1999


    Silicon integrated optic devices and micromechanical sensors based on ARROW (Invited Paper) [2686-01]

    Nathan, A. / Benaissa, K. / SPIE | British Library Conference Proceedings | 1996


    Nr. 2686

    DataCite | 1897


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    Gartner, E. / Fruhauf, J. / Loschner, U. et al. | British Library Online Contents | 2001