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    Titel :

    Laser bending of etched silicon micro-structures


    Beteiligte:
    Gartner, E. (Autor:in) / Fruhauf, J. (Autor:in) / Loschner, U. (Autor:in) / Exner, H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.01.2001


    Format / Umfang :

    4 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    All-silicon waveguides and bulk-etched alignment structures on (110) silicon for integrated micro-opto-mechanical systems [2686-02]

    Smith, S. W. / Mehregany, M. / Merat, F. L. et al. | British Library Conference Proceedings | 1996


    Photoluminescence from photochemically etched silicon

    Marotti, R.E. | Online Contents | 2003


    Anisotropically etched silicon fibre-grippers

    Gentemann, R. B. / Voges, E. | British Library Online Contents | 2008



    LEAN: laser-etched aqua number [3314-27]

    Schell, K. J. / SPIE | British Library Conference Proceedings | 1998