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    Titel :

    A Young's Modulus Estimation of Silicon Dioxide Thin Films by Means of Vibration Measurement Micromachined Cantilevers


    Beteiligte:
    Hatsuzawa, T. (Autor:in) / Okamura, Y. (Autor:in)


    Erscheinungsdatum :

    01.01.1998


    Format / Umfang :

    4 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Unbekannt


    Klassifikation :

    DDC:    629.8



    Measurement of Young's modulus on thin films under static and dynamic loading conditions [2004-33]

    Brown, G. C. / Pryputniewicz, R. J. / SPIE et al. | British Library Conference Proceedings | 1994


    Young's modulus of polycrystalline Li22Si5

    Ratchford, J.B. | Online Contents | 2011




    Measurement of Young’s modulus and residual stress of thin SiC layers for MEMS high temperature applications

    Pabst, O. / Schiffer, M. / Obermeier, E. et al. | British Library Online Contents | 2012