Zugriff

    Zugriff über TIB

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

    Bestellung bei Subito €


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    Measurement of Young’s modulus and residual stress of thin SiC layers for MEMS high temperature applications


    Beteiligte:
    Pabst, O. (Autor:in) / Schiffer, M. (Autor:in) / Obermeier, E. (Autor:in) / Tekin, T. (Autor:in) / Lang, K. D. (Autor:in) / Ngo, H. D. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 18 , 7/8 ; 945-953


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2012


    Format / Umfang :

    9 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83




    Young's modulus of polycrystalline Li22Si5

    Ratchford, J.B. | Online Contents | 2011


    Measurement of Young's modulus on thin films under static and dynamic loading conditions [2004-33]

    Brown, G. C. / Pryputniewicz, R. J. / SPIE et al. | British Library Conference Proceedings | 1994



    Measurement of Young's Modulus and Poisson's Ratio of Thermal Barrier Coatings

    Qi, H.-y. / Zhou, L.-z. / Yang, X.-g. | British Library Online Contents | 2005