Zugriff

    Zugriff über TIB

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

    Bestellung bei Subito €


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    Lithography demands high-productivity lasers


    Beteiligte:
    Zankowsky, D. (Autor:in)

    Erschienen in:

    LASER FOCUS WORLD ; 34 , 2 ; 135-144


    Erscheinungsdatum :

    1998-01-01


    Format / Umfang :

    10 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    621.366



    High-resolution contact lithography by excimer lasers [4088-73]

    Huang, H. / Lu, D. / Du, L. et al. | British Library Conference Proceedings | 2000


    Lasers improve auto manufacturing productivity

    Shiner,W. | Kraftfahrwesen | 1986


    Enabling Next-Generation Space Systems with High Productivity Electron Beam Lithography

    MacWilliams, Kenneth / Lam, David K. / Prescop, Ted et al. | AIAA | 2022


    Lithography offers market for UV solid-state lasers

    Mead, R. D. / Miyake, C. I. | British Library Online Contents | 1998


    Single mode edge-emitting lasers using optical lithography

    Percival, C. / Lambkin, P. / Corbett, B. | IEEE | 2003